Усовершенствованные ручные зондовые станции серии
1. Поддержка загрузки карточек с иглами для повышения эффективности тестирования игл
2. Патрон можно поднимать и опускать для облегчения быстрого разделения образцов и зондов
3. Стандартный металлографический микроскоп, тест на подложку размером до 1 мкм
4. Регулировка подъема микроскопа с воздушным управлением
5. Многодиапазонное лазерное применение, быстрое переключение и точная резка
серия FA | |||
Модель | FA-series | FA-series | |
Измерение | L: 960mm*W: 850mm*H: 1500mm | L: 880mm*W: 860mm*H: 1550mm | |
Вес (около) | 260KG | 280KG | |
Спрос на электроэнергию | 220VC, 50~60Hz | ||
Зажимной патрон | Размер и угол поворота | 8″, поворот на 360° | |
Диапазон перемещения X-Y | 8″ * 8″ | ||
Движущееся разрешение | 1μm | ||
Пример фиксированного режима | Вакуумная адсорбция | Вакуумная адсорбция | |
Диапазон регулирования температуры | – | – 80~200℃ | |
Быстрое извлечение | – | да | |
Электрическое проектирование | Поверхность патрона электрическая плавающая с | ||
переходником типа “банан”, может использоваться в качестве заднего электрода. | |||
пластина | Спецификация | U-образный валик, доступно 10 микропозиционеров | O-образный валик, доступно 12 микропозиционеров |
Режим перемещения и регулировки | Валик можно быстро поднимать вверх и вниз на 6 мм с функцией автоматической фиксации, валик можно точно | ||
настраивать вверх и вниз на 25 мм с разрешением 1 мкм | |||
Микроскоп | Дальность перемещения | X-Y: 2″ * 2″, | X-Y: 1″ * 1″, Z: 50.8mm |
Z: 50.8mm | |||
Разрешение | 1μm | ||
Увеличение | 20 ~ 4000X | ||
Операция переключения объектива | Быстрый наклон | Пневматический подъем | |
Пиксели CCD | 50W (Analog) / 200W (Digital) / 500W (Digital) | ||
Лазер | Длина волны | Выбираемая длина волны: 1064/532/355/266 нм | |
Выходная мощность | 0~2.2mJ/pulse | ||
Возможность микрообработки | Обрабатываемый материал: Cr / Al / ITO / Ni / TFT / RGB / поликремний / Mo / Si / CF с внутренними примесями и т.д. | ||
Точность | Минимальный обрабатываемый размер – 1*1 мкм (при использовании объектива 100X) | ||
Режим охлаждения | Лазер с воздушным охлаждением или лазер с водяным охлаждением | ||
Микропозиционер | Диапазон перемещения X-Y-Z | 12mm-12mm-12mm / 8mm-8mm-8mm | |
Механическое разрешение | 2μm / 0.7μm / 0.1μm | ||
Точность утечки тока | Coaxial 1pA/V @ 25 ℃; Three shaft 100fA/V @ 25 ℃; Triaxial 10pA@3kv @25°C, | ||
Условия испытания: сухая среда для заземляющего экрана (точка росы воздуха ниже -40°C) | |||
Банановая головка / зажим “Крокодил” / Коаксиальный / трехосный | Банановая головка / зажим “Крокодил” / Коаксиальный / трехосный | ||
Дополнительные аксессуары | Механизм быстрого извлечения патрона | ||
Обнаружение горячих точек с помощью жидкокристаллического пакета | |||
Набор для тестирования высокого напряжения/высокого тока | |||
Горячая цыпочка | |||
Защитная коробка | |||
Специальный адаптер | |||
Стол без вибрации | |||
Позолоченный патрон | |||
Коаксиальный/трехосный патрон | |||
Быстрый подъем и опускание патрона Z и выбор точной регулировки | |||
Тест на интенсивность света/длину волны | |||
Принадлежности для радиочастотного тестирования | |||
Активный зонд | |||
Проверка низкого тока/емкости | |||
Приспособление для испытания волоконно-оптического соединителя | |||
Крепление комплектного вспомогательного оборудования для тестирования микросхем | |||
Крепление вспомогательного оборудования для тестирования печатных плат | |||
Специальный индивидуальный дизайн | |||
Приложение | Анализ отказов микросхем/ЖК-дисплеев/OLED-дисплеев при различных температурах окружающей среды |
п/п | Классификация в соответствии с тестируемыми образцами | п/п | Классифицируется в зависимости от области применения | |
1 | Тестирование пластин | 1 | Радиочастотный тест | |
2 | Светодиодный тест | 2 | Испытание окружающей среды при высокой температуре | |
3 | Тестирование силового устройства | 3 | Испытание на низкий ток (уровень 100fA) | |
4 | Тестирование пластин | 4 | Тест I-v/c-v/p-iv | |
5 | Тест MEMS | 5 | Испытание на высокое напряжение, большой ток | |
6 | Тест ЖК-панели | 6 | Испытание окружающей среды в магнитном поле | |
7 | Испытание солнечного элемента | 7 | Проверка радиационной обстановки | |
8 | Испытание на удельное сопротивление поверхности материала | 8 | лазерная реставрация |
Сопутствующие продукты
Related products
Автоматическая зондовая станция для кремниевых пластин
Новая мощная зондовая станция , используемая в диапазоне температур от -45 ℃ до + 200 ℃
Поддерживает определение характеристик пластин в высоковольтных диапазонах измерений 3 кВ (триаксиальный) / 10 кВ (коаксиальный) и 500 А, с возможностью проведения тестирований на сверхтонких листовых пластинах или пластинах TAIKO.Полуавтоматическая станция для измерения пластин серии
Серия – это полуавтоматическая зондовая станция, которая объединяет электрические, оптоволновые, микроволновые и другие функции тестирования. Она специализируется на тестировании производительности современных чипов из различных материалов, таких как 6-дюймовые / 8-дюймовые / 12-дюймовые пластины (обратная совместимость) Si, GaN, SiC и т.д.Он может выполнять всепогодное обнаружение на кристалле 7 * 24 пластин, MEMS, биологических структур, фотоэлектрических устройств и других интегральных схем, светодиодов, ЖК-дисплеев, солнечных элементов и т.д., а также может загружать систему контроля температуры для удовлетворения различных требований клиентов к тестированию производительности при высоких и низких температурах. окружающая среда.
Небольшая ручная зондовая станция серии
Зондовая станция серии проста и легка, занимает небольшое пространство и ее легко перемещать.Исходя из предпосылки обеспечения точности теста, он также очень экономичен и очень подходит для проведения учебных экспериментов в колледжах и университетах.Если точка контакта испытательного устройства превышает 30 мкм, то серия M является одним из основных видов оборудования.Оборудование может быть пригодно для различных применений постоянного тока, ВЧ-радиочастот до 67 ГГц, MEMS и других тестовых приложений.
Усовершенствованная ручная зондовая станция серии
Серия – это усовершенствованная зондовая станция с расширенными функциями, которая может осуществлять тестирование электродной площадки толщиной более 1 мкм. Эргономичный дизайн прост и удобен в эксплуатации, а гибкая модульная конструкция UPStartTM позволяет заказчикам с наименьшими затратами модернизировать больше тестовых функций, таких как миллиметровые волны mmW, FA, MEMS, WLR и фотоэлектрические тесты.