Усовершенствованная ручная зондовая станция серии
1. Более гибкая модульная конструкция UPStartTM, более богатые дополнительные конфигурации включают в себя патрон, иглодержатель, зонд, приспособление, микроскоп, ударопрочный стол, защитную коробку и другие опции.
2. Крупногабаритная конструкция фюзеляжа повышает комфорт эксплуатации.Увеличенная платформа для размещения иглодержателя поддерживает загрузку карточек с иглами для повышения эффективности тестирования игл.
3. Патрон можно поднимать и опускать для регулировки, что удобно для быстрого отделения образца от зонда.
4. Металлографический микроскоп входит в стандартную комплектацию, и достигается проверка электродной площадки толщиной более 1 мкм.Он может быть оснащен лазером для анализа неисправностей ТВС / лазерной резки.
5. Микроскоп быстро поднимается и опускается с помощью пневматики, что облегчает замену микроскопа и крепления для платы зонда.
Модель | E series | E series | E series | E series | |
Форма (Д*Ш*В/мм) | 680*670*760 | 680*670*760 | 750*670*800 | 1030*800*850 | |
Приблизительный вес (КГ) | 90kg | 95kg | 110kg | 210kg | |
Потребляемая мощность | 220VC,50~60Hz | ||||
Нормальная температура патрона стандартная | Материал патрона | 4″ | 6″ | 8″ | 12″ |
Способ фиксации образца | Кольцевая вакуумная адсорбция (настраиваемая пористая адсорбция) | ||||
Испытание задним электродом | Да, электрически независимый выступ ступени отбора проб | ||||
Материал патрона | Нержавеющая сталь 316# (опционально латунь с никелированным ИЛИ позолоченным покрытием) | ||||
Платформа для перемещения патрона | Theta Stroke(Тета патрон) | поворот на 360° (грубая регулировка); | |||
диапазон точной настройки ±8°, точность точной настройки 0,002° | |||||
Подъем патрона | Зажимной патрон можно быстро поднимать вверх и вниз на 5 мм, | ||||
точный патрон подъема 6 мм, точность 1 мкм | |||||
Патрон X-Y | 100*100mm | 150*150mm | 200*200mm | 250*250mm | |
Точность перемещения | 10μm | ||||
Быстрое извлечение патрона | N/A | ||||
Способ управления | Привод с маленькой ручкой | ||||
Платформа для держателя зонда | Размеры (Д*Ш) | 550*405mm | 720*405mm | 980*480mm | |
Расстояние от патрона до платформы | 8 мм (верхняя поверхность патрона и | ||||
нижняя поверхность платформы держателя зонда) | |||||
Максимальное количество | 6 | 8 | 10 | ||
Подъем платформы | N/A | ||||
Способ позиционирования | Магнитная адсорбция или вакуумная адсорбция | ||||
Оптические характеристики | Оптические характеристики | Стандартный металлургический микроскоп PSM-1000 / опционально | |||
(Металлургический микроскоп GX-6, вид изнутри, видео) | |||||
Технические характеристики объектива | 20-2000X | ||||
Увеличение | 3 варианта CCD: 200 Вт (цифровой) / 500 Вт (цифровой) / 650 Вт (цифровой) | ||||
Пиксели CCD | Патрон перемещения оси 50,8 мм, регулировка коаксиальной ручки, | ||||
точность точной настройки более 1 мкм | |||||
Управление движением | Диапазон перемещения стола панорамирования микроскопа 2 дюйма XY | ||||
Перемещение микроскопа | 1μm | ||||
Технические характеристики зонда | Патрон X-Y-Z | 12mm-12mm-12mm | |||
Механическая точность | 10μm/2μm/0.7μm | ||||
Точность утечки | Coaxial 1pA/V @ 25 ℃; Triaxial 100fA/V @ 25 ℃; Triaxial 10pA@3kv @25°C, | ||||
Условия испытания: сухая среда для заземляющего экрана | |||||
(точка росы в воздухе ниже -40°C) | |||||
Форма интерфейса | “банан” (штеккер) / зажим “крокодил” / коаксиальный/трехосный интерфейс |
Испытательное устройство | Тестирование диодов и транзисторов на уровне пластин | ● | Тестовое приложение | Испытание постоянным током/(IV, CV) | ● | |
Проверка устройства питания (IGBT, MOSFET) | ● | Испытание на низкий ток (уровень 100fA) | ● | |||
Тестирование MEMS-устройств | ● | 1/f испытание на шум | ● | |||
LD (VSCEL) PD, испытание светодиодного фотоэлектрического устройства | ● | Тест на анализ отказов ТВС | ● | |||
Тестирование компонентов печатной платы | ● | Тест на определение характеристик устройства | ● | |||
Тест LCD-TFT | ● | Испытание на надежность и старение WLR | ● | |||
Проверка запоминающего устройства (тест на быстрый импульс) | ● | Радиочастота RF | Радиочастотный тест до 67 ГГц | ● | ||
Радиочастотное устройство | ● | Тест на ммВт/суб-ТГц | ● | |||
Испытание кремниевого оптического устройства | ◯ | Испытание на ТГц и тягу под нагрузкой | ◯ | |||
Тестирование диодов и транзисторов на уровне пластин | Испытания на высокую мощность/большой ток и/или высокое напряжение | ● | ||||
Проверка устройства питания (IGBT, MOSFET) | Испытание при низкой температуре | ◯ | ||||
Испытание на сверхнизкую температуру в вакууме | ◯ | |||||
Испытание кремниевой фотоники/оптрона | ◯ | |||||
Фотоэлектрический тест VSCEL | ◯ | |||||
●Рекомендуется поддержка,◐ не рекомендуется поддерживать, ◯ Не поддерживается N/A |
Сопутствующие продукты
Related products
Автоматическая зондовая станция для кремниевых пластин
Новая мощная зондовая станция , используемая в диапазоне температур от -45 ℃ до + 200 ℃
Поддерживает определение характеристик пластин в высоковольтных диапазонах измерений 3 кВ (триаксиальный) / 10 кВ (коаксиальный) и 500 А, с возможностью проведения тестирований на сверхтонких листовых пластинах или пластинах TAIKO.Встроенная ручная зондовая станция серии H series
Зондовая станция серии H обладает превосходными механическими свойствами и функциями тестирования. Инновационная в отрасли технология chuck mobile удовлетворяет потребности клиентов в эффективном тестировании всей пластины. Это функция, которой не обладают ручные зондовые станции других марок. В то же время, основанная на модульной и открытой конструкции UPStartTM, серия H может использоваться с различными наборами для достижения более широкого спектра тестовых функций. Зондовая станция серии H series очень подходит для разовых бюджетных закупок в научно-исследовательских лабораториях.
Небольшая ручная зондовая станция серии
Зондовая станция серии проста и легка, занимает небольшое пространство и ее легко перемещать.Исходя из предпосылки обеспечения точности теста, он также очень экономичен и очень подходит для проведения учебных экспериментов в колледжах и университетах.Если точка контакта испытательного устройства превышает 30 мкм, то серия M является одним из основных видов оборудования.Оборудование может быть пригодно для различных применений постоянного тока, ВЧ-радиочастот до 67 ГГц, MEMS и других тестовых приложений.
Вакуумная станция для измерения высоких и низких температур серии
В 2012 году, после того как запустила в КИТАЕ первую вакуумную станцию для измерения высоких и низких температур серии CG с независимой технологией, КОМПАНИЯ начала непрерывные исследования В ОБЛАСТИ технологии вакуумных низкотемпературных испытаний.После постоянной оптимизации и улучшения эксплуатационных характеристик продукта технической командой стабильность и надежность оборудования достигли достаточно высокого уровня и широко используются в отечественных первоклассных университетах, научно-исследовательских институтах, полупроводниковых компаниях и многих других подразделениях.
Опираясь на ТЕХНИЧЕСКИЙ ОПЫТ в испытаниях вакуумных зондов при высоких и низких температурах, В 2016 году БЫЛА ПРИГЛАШЕНА принять участие В разработке НЕКОТОРЫХ ОСНОВНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ проекта “Устройство наземного моделирования космической среды”, совместно созданного Харбинским технологическим институтом и Китайской аэрокосмической научно-технической группой; проект используется для проверьте устойчивость космического аппарата к воздействию вакуума, холодной черноты, солнечной радиации, магнитных полей и способность противостоять излучению частиц высокой энергии, солнечному ветру и микрометеороидам.В ЭТОМ ПРОЕКТЕ предоставляет техническую поддержку в области сверхвысокого вакуума, сверхнизких температур, автоматического управления, лазерного моделирования и т.д.