Автоматическая зондовая станция для кремниевых пластин
1. Высокая эффективность: интегрированный модуль предварительной настройки собственной разработки, пластины можно автоматически перемещать вверх и вниз без повреждений, круглосуточное внутрипленочное обнаружение 7 * 24 часа в сутки для обеспечения безопасной и высокоскоростной передачи данных.
2. Высокая точность: полностью замкнутая система управления движением микронного уровня, благодаря оптической системе позиционирования, использующей новейшие программные алгоритмы обработки изображений, достигается автоматическое и точное позиционирование ланцета.
3. Высокая совместимость: манипулятор может принимать различные пластины, такие как ультратонкие/острые/тайко и т.д.; самостоятельно разработанная конструкция интегрированного шарнира, может принимать различные основные испытательные машины для стыковки.
4.Высокая устойчивость: малый размер и вес, низкая вибрация, низкий уровень шума, низкий центр тяжести, конструкция мобильной платформы с низким центром тяжести патрона, более стабильная работа.
| Model | ||
| Пластины | Диаметр пластины | 6inch,8inch |
| Толщина пластины | 50-2000μm | |
| Размер матрицы | 300-100000μm | |
| Вес | ≦500g | |
| Патрон | Диапазон перемещения по оси XY | 260mm*450mm |
| Повторяемость XY | ≦±1μm | |
| Точность XY | ≦±2μm | |
| Разрешение XY | 0.1μm | |
| XY Максимальная скорость | 200mm/s | |
| Z Диапазон перемещения | 0-80mm | |
| Z Повторяемость | ≦±1μm | |
| Z Точность | ≦±μm | |
| Z Разрешение | 0.1μm | |
| Z Максимальная скорость | 80mm/s | |
| Тета | Диапазон тета-вращения | ±10° |
| Тета-разрешение | 0.00001° | |
| Размер кассеты / пластины | 4″, 5″, 6″ ，8″ | |
| Размеры | 1124*1158*955mm | |
| Напряжение | 1.2T | |
| Давление воздуха в CDA | 50/60Hz AC220V | |
| Давление вакуума | 0.6-0.7MpA | |
| Размер кассеты / пластины | -70 to -90kpA | |
| п/п | Классификация в соответствии с тестируемыми образцами | п/п | Классификация в зависимости от области применения | |
| 1 | Тестирование пластин | 1 | Радиочастотное (RF) тестирование | |
| 2 | LED тест | 2 | Испытание на воздействие повышенной температуры | |
| 3 | Тестирование силового устройства | 3 | Испытание на низкий ток (уровень 100fA) | |
| 4 | Тест MEMS | 4 | I-v/c-v/p-iv тесты | |
| 5 | Тест PCB | 5 | Испытание на высокое напряжение, большой ток | |
| 6 | Тест ЖК-панели | 6 | Испытание на воздействие магнитного поля | |
| 7 | Тестирование солнечных элементов | 7 | Испытания в радиационной среде | |
| 8 | Испытания удельного сопротивления | 8 |
Сопутствующие продукты
Related products
Встроенная ручная зондовая станция серии H series
Зондовая станция серии H обладает превосходными механическими свойствами и функциями тестирования. Инновационная в отрасли технология chuck mobile удовлетворяет потребности клиентов в эффективном тестировании всей пластины. Это функция, которой не обладают ручные зондовые станции других марок. В то же время, основанная на модульной и открытой конструкции UPStartTM, серия H может использоваться с различными наборами для достижения более широкого спектра тестовых функций. Зондовая станция серии H series очень подходит для разовых бюджетных закупок в научно-исследовательских лабораториях.
Небольшая ручная зондовая станция серии
Зондовая станция серии проста и легка, занимает небольшое пространство и ее легко перемещать.Исходя из предпосылки обеспечения точности теста, он также очень экономичен и очень подходит для проведения учебных экспериментов в колледжах и университетах.Если точка контакта испытательного устройства превышает 30 мкм, то серия M является одним из основных видов оборудования.Оборудование может быть пригодно для различных применений постоянного тока, ВЧ-радиочастот до 67 ГГц, MEMS и других тестовых приложений.
Ручная зондовая станция для измерения высоких и низких температур серии
Высокотемпературные и низкотемпературные зондовые станции серии C обеспечивают среду измерений без электромагнитных помех (EMI) / радиочастотных помех (RFI) и светонепроницаемость за счет дополнительной конструкции защитной камеры. Оборудование может соответствовать требованиям испытаний в диапазоне температур от -60 °C до 300°C.
Усовершенствованная ручная зондовая станция серии
Серия – это усовершенствованная зондовая станция с расширенными функциями, которая может осуществлять тестирование электродной площадки толщиной более 1 мкм. Эргономичный дизайн прост и удобен в эксплуатации, а гибкая модульная конструкция UPStartTM позволяет заказчикам с наименьшими затратами модернизировать больше тестовых функций, таких как миллиметровые волны mmW, FA, MEMS, WLR и фотоэлектрические тесты.
